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一文讀懂吸氣劑復合型離子泵的性能特點(diǎn)

更新時(shí)間:2023-04-09      點(diǎn)擊次數:795
  吸氣劑復合型離子泵是一種高效的氣體抽取技術(shù),下面就給大家詳細介紹一下它的性能特點(diǎn),希望能夠幫助到大家!
 
  吸氣劑復合型離子泵的性能特點(diǎn)如下
 
  1、高抽速和低壓力:采用電離泵和吸氣劑共同作用,可實(shí)現高抽速和低壓力的抽取。這種離子泵的抽速通常在100~10,000L/s之間,而其抽取壓力通常在10^-9~10^-11Torr之間。
 
  2、高真空下也能工作:適用于高真空條件下的氣體抽取,可以將真空度提高到非常低的水平。這使得它在許多應用中都是重要的。例如,在半導體制造中,需要高真空環(huán)境來(lái)避免污染和減少雜質(zhì)。
 
  3、可以處理大量氣體種類(lèi):可以處理各種類(lèi)型的氣體,包括惰性氣體、反應性氣體和蒸汽。這種泵具有廣泛的應用領(lǐng)域,例如在化學(xué)制造中可用于處理危險氣體。
 
  4、長(cháng)壽命:由于其內部沒(méi)有運動(dòng)的機械部件,因此其壽命比其他類(lèi)型的泵長(cháng)。它們需要很少的維護和保養,可以在多年甚至幾十年的時(shí)間內持續運行。
 
  5、清潔和安全:它是一種相對干凈、不產(chǎn)生粉塵和污垢的抽取技術(shù)。此外,它也是非常安全的,因為電離器內只有低電壓和低電流。
 
  總之,吸氣劑復合型離子泵是一種高效、低壓力、長(cháng)壽命、廣泛應用、清潔和安全的氣體抽取技術(shù)。由于其出色的性能,它在許多領(lǐng)域都被廣泛使用,例如在半導體制造、化學(xué)制造、材料研究和天文學(xué)中等。
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